![参加の御礼:オンラインセミナー 知って得する!プラズマCVD(および ドライエッチング)装置シミュレーションの「いろは」](https://solution.esi.co.jp/hs-fs/hubfs/%E3%80%90%E3%82%BF%E3%82%A4%E3%83%88%E3%83%AB%E5%85%A5%E3%82%8A%E3%80%91Database%20Manager%20%28Species%29%20%E3%81%A7%E7%AE%A1%E7%90%86%E3%81%95%E3%82%8C%E3%82%8B%20Lennard-Jones%20%E3%83%91%E3%83%A9%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%BF-1.png?width=849&height=566&name=%E3%80%90%E3%82%BF%E3%82%A4%E3%83%88%E3%83%AB%E5%85%A5%E3%82%8A%E3%80%91Database%20Manager%20%28Species%29%20%E3%81%A7%E7%AE%A1%E7%90%86%E3%81%95%E3%82%8C%E3%82%8B%20Lennard-Jones%20%E3%83%91%E3%83%A9%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%BF-1.png)
参加の御礼:オンラインセミナー 知って得する!プラズマCVD(および ドライエッチング)装置シミュレーションの「いろは」
Misaki Okuma
イベント
Nov 17, 2020 4:57:01 PM
![オンラインセミナー:知って得する!プラズマCVD(および ドライエッチング)装置シミュレーションの「いろは」](https://solution.esi.co.jp/hs-fs/hubfs/%E3%80%90%E3%82%BF%E3%82%A4%E3%83%88%E3%83%AB%E5%85%A5%E3%82%8A%E3%80%91%E3%82%B7%E3%83%AA%E3%82%B3%E3%83%B3%E7%AA%92%E5%8C%96%E8%86%9CPECVD%E3%82%B7%E3%83%9F%E3%83%A5%E3%83%AC%E3%83%BC%E3%82%B7%E3%83%A7%E3%83%B3%E3%81%AE%E8%A8%88%E7%AE%97%E7%B5%90%E6%9E%9C%E3%81%AE%E4%B8%80%E4%BE%8B%EF%BC%88SiH3%EF%BC%8CSiH2%20%E6%95%B0%E5%AF%86%E5%BA%A6%E5%88%86%E5%B8%83%EF%BC%89.png?width=849&height=566&name=%E3%80%90%E3%82%BF%E3%82%A4%E3%83%88%E3%83%AB%E5%85%A5%E3%82%8A%E3%80%91%E3%82%B7%E3%83%AA%E3%82%B3%E3%83%B3%E7%AA%92%E5%8C%96%E8%86%9CPECVD%E3%82%B7%E3%83%9F%E3%83%A5%E3%83%AC%E3%83%BC%E3%82%B7%E3%83%A7%E3%83%B3%E3%81%AE%E8%A8%88%E7%AE%97%E7%B5%90%E6%9E%9C%E3%81%AE%E4%B8%80%E4%BE%8B%EF%BC%88SiH3%EF%BC%8CSiH2%20%E6%95%B0%E5%AF%86%E5%BA%A6%E5%88%86%E5%B8%83%EF%BC%89.png)
オンラインセミナー:知って得する!プラズマCVD(および ドライエッチング)装置シミュレーションの「いろは」
Misaki Okuma
イベント
Aug 28, 2020 2:34:51 PM
![CFD-ACE+ を用いたエアロゾル粒子の軌跡シミュレーション](https://solution.esi.co.jp/hs-fs/hubfs/Fig.%202%20%E8%A8%88%E7%AE%97%E3%82%B0%E3%83%AA%E3%83%83%E3%83%89%EF%BC%88%E9%83%A8%E5%88%86%E7%9A%84%E3%81%AB%E6%8B%A1%E5%A4%A7%EF%BC%89_01.png?width=849&height=566&name=Fig.%202%20%E8%A8%88%E7%AE%97%E3%82%B0%E3%83%AA%E3%83%83%E3%83%89%EF%BC%88%E9%83%A8%E5%88%86%E7%9A%84%E3%81%AB%E6%8B%A1%E5%A4%A7%EF%BC%89_01.png)
CFD-ACE+ を用いたエアロゾル粒子の軌跡シミュレーション
株式会社アテナシス 池田 圭
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Mar 16, 2020 2:00:00 PM
![フィラメントモデルを利用したシャワーヘッドの三次元シミュレーション( Modeling of 3D showerhead using filament model )](https://solution.esi.co.jp/hs-fs/hubfs/ACE-Suite/images/filament_GUI.png?width=849&height=566&name=filament_GUI.png)
フィラメントモデルを利用したシャワーヘッドの三次元シミュレーション( Modeling of 3D showerhead using filament model )
株式会社アテナシス 池田 圭
技術紹介
Feb 21, 2012 2:56:00 PM
![スライディンググリッドを使った移動体に対する誘導加熱の非定常解析( Induction heating with using sliding grid )](https://solution.esi.co.jp/hs-fs/hubfs/Fig.%201%20%E8%A8%88%E7%AE%97%E3%83%A2%E3%83%87%E3%83%AB%EF%BC%88%EF%BC%93%E6%AC%A1%E5%85%83%E9%83%A8%E5%88%86%E3%83%A2%E3%83%87%E3%83%AB%EF%BC%89.png?width=849&height=566&name=Fig.%201%20%E8%A8%88%E7%AE%97%E3%83%A2%E3%83%87%E3%83%AB%EF%BC%88%EF%BC%93%E6%AC%A1%E5%85%83%E9%83%A8%E5%88%86%E3%83%A2%E3%83%87%E3%83%AB%EF%BC%89.png)
スライディンググリッドを使った移動体に対する誘導加熱の非定常解析( Induction heating with using sliding grid )
株式会社アテナシス 池田 圭
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May 23, 2011 10:00:00 AM
![ICP( 誘導結合型プラズマ )の非定常解析 その2 - ICP true transient simulation at the ignition - case 2 -](https://solution.esi.co.jp/hs-fs/hubfs/Fig.%2016%E3%80%80%E9%9B%BB%E5%AD%90%E5%AF%86%E5%BA%A6%EF%BC%88%20Ne%20%EF%BC%89%E5%8F%8A%E3%81%B3%20%E9%9B%BB%E5%AD%90%E6%B8%A9%E5%BA%A6%20%28%20Te%20%29%20%5B%205000%E5%91%A8%E6%9C%9F%E5%BE%8C%20%5D.png?width=849&height=566&name=Fig.%2016%E3%80%80%E9%9B%BB%E5%AD%90%E5%AF%86%E5%BA%A6%EF%BC%88%20Ne%20%EF%BC%89%E5%8F%8A%E3%81%B3%20%E9%9B%BB%E5%AD%90%E6%B8%A9%E5%BA%A6%20%28%20Te%20%29%20%5B%205000%E5%91%A8%E6%9C%9F%E5%BE%8C%20%5D.png)
ICP( 誘導結合型プラズマ )の非定常解析 その2 - ICP true transient simulation at the ignition - case 2 -
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Feb 13, 2011 11:30:00 AM
![ICP( 誘導結合型プラズマ )の放電開始から周期定常に移行するまでの非定常解析 - ICP true transient simulation at the ignition -](https://solution.esi.co.jp/hs-fs/hubfs/ACE-Suite/images/Fig.%204%E3%80%80%E6%B8%A6%E9%9B%BB%E6%B5%81%EF%BC%88%20J_eddy%20%EF%BC%89%E5%8F%8A%E3%81%B3%20%E5%90%B8%E5%8F%8E%E9%9B%BB%E5%8A%9B%20%28%20Power%20dissipation%20%29.png?width=849&height=566&name=Fig.%204%E3%80%80%E6%B8%A6%E9%9B%BB%E6%B5%81%EF%BC%88%20J_eddy%20%EF%BC%89%E5%8F%8A%E3%81%B3%20%E5%90%B8%E5%8F%8E%E9%9B%BB%E5%8A%9B%20%28%20Power%20dissipation%20%29.png)
ICP( 誘導結合型プラズマ )の放電開始から周期定常に移行するまでの非定常解析 - ICP true transient simulation at the ignition -
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Sep 21, 2010 5:10:00 PM
![CVD装置のテーパーを有するガスノズル形状の検討例 ( Flow analysis of gas injector on taper angle for chemical vapor deposition reactor )](https://solution.esi.co.jp/hs-fs/hubfs/Fig.%201%20%E4%BA%8C%E6%AC%A1%E5%85%83%E8%BB%B8%E5%AF%BE%E7%A7%B0%E3%81%AE%E8%A8%88%E7%AE%97%E3%83%A2%E3%83%87%E3%83%AB-1.png?width=849&height=566&name=Fig.%201%20%E4%BA%8C%E6%AC%A1%E5%85%83%E8%BB%B8%E5%AF%BE%E7%A7%B0%E3%81%AE%E8%A8%88%E7%AE%97%E3%83%A2%E3%83%87%E3%83%AB-1.png)
CVD装置のテーパーを有するガスノズル形状の検討例 ( Flow analysis of gas injector on taper angle for chemical vapor deposition reactor )
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Jun 12, 2010 10:00:00 AM
![モンテカルロ輻射モジュールを用いた熱解析( Thermal Analysis using Monte Carlo Radiation Module )](https://solution.esi.co.jp/hs-fs/hubfs/Fig.%203%20%E3%83%81%E3%83%A3%E3%83%B3%E3%83%90%E3%83%BC%E5%86%85%E3%81%AE%E6%B8%A9%E5%BA%A6%E5%88%86%E5%B8%83.png?width=849&height=566&name=Fig.%203%20%E3%83%81%E3%83%A3%E3%83%B3%E3%83%90%E3%83%BC%E5%86%85%E3%81%AE%E6%B8%A9%E5%BA%A6%E5%88%86%E5%B8%83.png)
モンテカルロ輻射モジュールを用いた熱解析( Thermal Analysis using Monte Carlo Radiation Module )
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Apr 23, 2010 11:36:00 AM
![導入ガスを切り替えるCVD装置の非定常ガス流れ解析( Transient simulation for alternative gas flow in CVD Reactor )](https://solution.esi.co.jp/hs-fs/hubfs/Fig.%201%20%E9%9D%9E%E5%AE%9A%E5%B8%B8%E8%A8%88%E7%AE%97%E3%81%AE%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9.png?width=849&height=566&name=Fig.%201%20%E9%9D%9E%E5%AE%9A%E5%B8%B8%E8%A8%88%E7%AE%97%E3%81%AE%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9.png)
導入ガスを切り替えるCVD装置の非定常ガス流れ解析( Transient simulation for alternative gas flow in CVD Reactor )
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Jan 16, 2010 3:00:00 PM
![CFD-ACE+ を用いた SiC CVD シミュレーション( CFD-ACE+ CVD Simulation : chemical vapor deposited silicon carbide )](https://solution.esi.co.jp/hs-fs/hubfs/Fig.%205%20CH3%EF%BC%88%E4%B8%8A%EF%BC%89%E5%8F%8A%E3%81%B3%20CH4%EF%BC%88%E4%B8%8B%EF%BC%89%E3%81%AE%E8%B3%AA%E9%87%8F%E5%88%86%E7%8E%87.png?width=849&height=566&name=Fig.%205%20CH3%EF%BC%88%E4%B8%8A%EF%BC%89%E5%8F%8A%E3%81%B3%20CH4%EF%BC%88%E4%B8%8B%EF%BC%89%E3%81%AE%E8%B3%AA%E9%87%8F%E5%88%86%E7%8E%87.png)
CFD-ACE+ を用いた SiC CVD シミュレーション( CFD-ACE+ CVD Simulation : chemical vapor deposited silicon carbide )
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Dec 12, 2009 11:20:00 AM
![CFD-ACE+ を用いた自由表面のシミュレーション( Free Surface (VOF) Modeling using CFD-ACE+ )](https://solution.esi.co.jp/hs-fs/hubfs/Fig.%203%20%E7%86%B1%E3%82%92%E5%8A%A0%E3%81%88%E3%82%8B%E7%9B%B4%E5%89%8D%E3%81%AE%E6%B0%B4%E3%81%AE%E6%B5%81%E3%82%8C%E3%81%A8%E9%80%9F%E5%BA%A6%E5%88%86%E5%B8%83.png?width=849&height=566&name=Fig.%203%20%E7%86%B1%E3%82%92%E5%8A%A0%E3%81%88%E3%82%8B%E7%9B%B4%E5%89%8D%E3%81%AE%E6%B0%B4%E3%81%AE%E6%B5%81%E3%82%8C%E3%81%A8%E9%80%9F%E5%BA%A6%E5%88%86%E5%B8%83.png)
CFD-ACE+ を用いた自由表面のシミュレーション( Free Surface (VOF) Modeling using CFD-ACE+ )
株式会社アテナシス 池田 圭
技術紹介
Jun 10, 2009 2:00:00 PM