オンラインセミナー：知って得する！プラズマCVD（および ドライエッチング）装置シミュレーションの「いろは」

本セミナーは、プラズマのシミュレーションを行うために、

・ソフトウェアは購入したけど、モデルの作り方が分からない

・データベースをどこから準備したらいいか分からない

・計算はしてみたけれど、実験結果とどう比較すれば良いか分からない

といった不安を抱えている方々を対象にしたオンラインセミナー（全４回）です。
プラズマやシミュレーションの理論、ソフトウェアの機能概要については、本セミナーではほとんど取り上げません。その一方で、必要となるデータベースの収集に役立つインターネットサイトの紹介や活用法、実験結果の解釈や計算結果との比較方法等、ソフトウェア運用における「いろは」的な内容をご紹介します。
また、具体例として、過去に行ったシリコン窒化膜の PECVDシミュレーション（Dry Process Symposium 2019 で発表）を取り上げ、構築した反応モデルや、実験結果を示した論文との比較方法についてもご紹介します。
本セミナーは、一般の参考書やソフトウェアのマニュアルにはほとんど載っていない、けれでも、シミュレーションを行う上で知らないと困ってしまう、そういった点にフォーカスして構成しています。「ソフトウェアを宝の持ち腐れにさせたくない！」という方々の一助になれば幸いです。

■講師紹介

株式会社アテナシス　池田　圭
1989年日電アネルバ（現キヤノンアネルバ）入社。2001年ウェーブフロントに移籍。2008年にアテナシスを設立、現在に至る。ESI GroupのエージェントとしてマルチフィジックスソフトウェアACE+ Suiteを軸に半導体・自動車・電力等の業界でサポート・コンサルティングに従事。プラズマのデータベース・反応モデルを扱うイギリスQuantemol社の代理店業務を兼務。応用物理学会・化学工学会、原子分子応用フォーラムの正会員。2008年、日本将棋連盟より５段免状を取得。

≪開催概要≫

▶第1回　species（化学種）データベースの活用「いろは」

反応を考慮することにより、必要となる speciesの数は急増しますが、species のLennard Johns パラメータや JANNAF係数等は不明なものも少なくありません。一つひとつの精度については別途検討も必要ですが、ともかく計算を進めるために有用と考えられるデータベースや、幾つかの推算方法・参考文献についてご紹介します。

【日時】10月8日（木）14:00～14:40　（40分　＊質疑応答込）
【費用】無料（事前申込制）
【詳細・お申込み】お申込はこちら
【定員】100名

▶第2回　反応モデル準備の「いろは」

反応モデルの準備・構築は成膜・エッチングのプラズマシミュレーションにおいて肝の部分になります。しかし、その構築は容易ではなく、実験結果の考察や論文調査、電子衝突断面積や反応速度定数の推算が必要となる場合も少なくありません。既存の論文やデータベースを活用してモデル構築を行う際の注意点を、シリコン窒化膜PECVDシミュレーションの例を用いてご紹介します。

【日時】10月15日（木）14:00～14:40　（40分　＊質疑応答込）
【費用】無料（事前申込制）
【詳細・お申込み】お申込はこちら
【定員】100名

▶第3回　数値計算モデル作成の「いろは」

計算したい装置に対し、計算領域として取り込む領域を誤ると、現象を再現することが困難となる場合があります。不必要な領域は割愛し、逆に、温度や電位の分布を再現できるように必要な領域が取り込まれていることがポイントとなります。そこで、計算領域の取り方に関する注意点を幾つかご紹介します。

【日時】10月22日（木）14:00～14:40　（40分　＊質疑応答込）　
【費用】無料（事前申込制）
【詳細・お申込み】お申込はこちら
【定員】100名

▶第4回　シミュレーション結果考察の「いろは」

シリコン窒化膜の組成は、一般にSi3N4として知られていますが、膜中のSi と Nの比率はプロセスに依存します。一般的なシミュレーションでは一定の組成を仮定しますが、より現実的なモデルとして考慮するため、実験結果を示した論文（※）を吟味し、Si と N の flux に置き換えてシミュレーション結果と比較することが有効です。
ここでは、結果考察の考え方の一つとして、この方法についてご紹介します。
※論文：D.L. Smith, et al, J. Electrochem. Soc., 2, 614 (1990)

【日時】10月29日（木）14:00～14:40　（40分　＊質疑応答込）
【費用】無料（事前申込制）
【詳細・お申込み】お申込はこちら
【定員】100名

※類似製品をお取り扱いの会社様の参加はご遠慮頂いております。
※本セミナーお申込完了メールの3営業日以内に視聴用のURLをお送りしますので、当日はそちらのURLよりセミナールームへご入室ください。