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論文から学ぶ - その2 / 誘導加熱によるCVD装置の熱流体解析(論文の追試・検証)
株式会社アテナシス 池田 圭
技術紹介
Feb 9, 2009 2:00:00 PM
ICPリアクタによる CF4 分解(CFD-ACE+ を用いたプラズマシミュレーション)
株式会社アテナシス 池田 圭
技術紹介
Jan 30, 2009 2:00:00 PM